【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种抛光含铝基板的表面的方法。
技术介绍
金属镜在光学领域中具有多种应用。通常，镜面是通过将金属涂层涂覆 至由另 一种金属或另 一种材料(诸如玻璃)组成的基板上而形成。当温度变化 时，诸如在不同空间及军事应用中，镜组分膨胀与收缩的不同速率导致镜面 的尺寸不稳定性。 一种解决方法是抛光由单一金属或金属合金组成的基板的 表面，其消除了由热性质差异造成的问题且为该基板提供了金属的机械强度 及刚性。由于铝的轻度、低成本及与常规表面形成工艺的相容性，因此其为 一种优选的金属。这类镜在光学应用中的性能在很大程度上取决于需高度均 匀以使由表面不规则所造成的光散射最小化的表面。与光学性能有关的表面粗糙度参数不仅包括平均表面粗糙度(Ra)或均方 根表面粗糙度(ig，且还包括包含R^x和/或Rz的重要参数。Rmax是在给定 取样区域内的最大峰谷高度，其中峰表示表面上的高点且谷表示表面上的刮 痕深度。Rz是在若干不同取样区域内所量测的Rmax的平均值。不仅对于良好 的光学性能而言平均表面粗糙度必须是低的，且为使光散射最小化，Rz、 Rmax 或相关参数也必须是低的。用...
【技术保护点】
一种抛光含铝基板的表面的方法，该方法包括： （ｉ）提供含铝基板， （ｉｉ）提供抛光垫， （ｉｉｉ）提供抛光组合物，该抛光组合物包含： （ａ）选自二氧化硅、二氧化铈及氧化锆的研磨剂， （ｂ）对铝进行氧化的试剂，及 （ｃ）液体载体，其中该研磨剂为微粒状且悬浮于该液体载体中， （ｉｖ）将该基板的表面与该抛光垫及该抛光组合物接触，及 （ｖ）研磨该基板的该表面的至少一部分以自该基板移除至少一些铝且抛光该基板的该表面。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：弗拉斯塔布鲁西克，理查德詹金斯，克里斯托弗汤普森，
申请(专利权)人：卡伯特微电子公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]
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