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文档序号:8896766

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一种检测装置,运用于机台,包含:载台,用以置放料片;光学检测模块,设置于载台上方,用以检测料片;及反射镜组,设置于载台与光学检测模块之间,包含光源模块和反射板,该光源模块用以发射光线至料片;该反射板可调整地连接于光源模块而邻近于料片的侧边;...
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