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一种常压等离子体自由基清洗设备，包括一台中频等离子体发生器、一台射频等离子体发生器、吸片装置、电源系统、移动机械臂、进气系统以及抽气泵。设备运行时，两台等离子体发生器同时工作，工作气体在流量计的控制下进入到两台等离子体发生器中，吸片装置固定...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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