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本发明提供一种加热装置、加热方法及半导体加工设备，所述加热装置包括感应线圈和功率源，所述感应线圈与所述功率源连接，所述感应线圈包括三个以上纵向同轴且间隔设置的子线圈，在所述感应线圈与所述功率源之间设有用于调节所述子线圈输出功率的功率调节器，...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。