下载半导体存储器件及其制造方法的技术资料

文档序号:8835462

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本发明公开了一种半导体存储器件,所述半导体存储器件包括:位线,所述位线沿第一方向延伸;垂直栅单元,包括被形成为柱体形状的栅氧化物层和栅金属层;下电极和数据储存材料层,形成在垂直栅单元上;以及互连层,形成在数据储存材料层上。...
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