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一种抛光设备，包括由多个电极元件组成的电极，电极驱动装置和分布在电极与工件之间的电介质研磨粒。抛光压力通过交流电压加到电极上时产生的库仑力施加到研磨粒上。...
该专利属于秋田县所有，仅供学习研究参考，未经过秋田县授权不得商用。

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