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研磨片及其制造方法技术
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文档序号:883246
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提供一种研磨片及制造方法,该研磨片不随使用时间的推移而变形,可用高的研磨速率使研磨对象物表面均匀平坦。研磨片10由织物片12和树脂14构成,其中织物片由1根纤维13、或由多根纤维13束集起来形成的纤维束13、或把多束由多根纤维束集而成的纤维...
该专利属于日本微涂料株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本微涂料株式会社授权不得商用。
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