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用于化学机械抛光的保持环具有大致环形的体，所述大致环形的体具有顶表面、底表面、内径表面和外径表面。所述底表面包括多个沟道，每个沟道从所述内径表面延伸到所述外径表面并具有圆形顶。...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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