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根据本发明一实施例，基板处理装置具备：用于实行基板加工的腔体；设置在所述腔体的内部并用于放置所述基板的基板支撑台；以及通过使流入口和流出口相对称而形成的喷头，所述流入口用于向所述腔体的内部供给反应气体，所述流出口用于排出供给至所述腔体内部的...
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