下载廉价粉末多晶硅基纳米线的制备方法的技术资料

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一种廉价粉末多晶硅基纳米线的制备方法,包括如下步骤:步骤1:取一衬底,采用激光器在距衬底上表面30um的内部形成规则网状空气隙;步骤2:在衬底上采用MOCVD方法依次生长成核层、N型掺杂层、多量子阱发光层、P型掺杂层和ITO层;步骤3:采用...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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