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本发明提供一种DLC沉膜的膜厚均匀性控制方法及调整底盘，该方法包括以下步骤：将待沉膜的工件至于金属材质制作的调整底盘上并与该调整底盘相配合，且所述调整底盘暴漏的周侧面与所述工件的待沉膜表面之间形成连续的过渡；将所述工件及调整底盘放置于真空电...
该专利属于长春理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过长春理工大学授权不得商用。

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