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一种制备非晶态透明氧化锌薄膜的方法技术
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文档序号:8797858
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本发明涉及薄膜技术。一种制备非晶态透明氧化锌薄膜的方法,包括一基片,采用基片表面作为基底层,在基底层镀上一层均匀金属锌膜层,金属锌薄膜在空气环境中通过热氧化处理,即得到氧化锌薄膜。将制备好的金属锌薄膜置于马弗炉中,在空气环境下,4-25分钟...
该专利属于上海理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海理工大学授权不得商用。
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