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本发明提供一种能够在真空泵开始工作前减小真空室的压强，起到为真空泵节省能耗的作用的真空镀膜系统及镀膜方法。本发明的真空镀膜系统，包括具有镀膜部、真空室以及真空泵的真空镀膜机，其特征在于，还包括：辅助减压装置，用于在真空泵工作前，对真空室内的...
该专利属于上海理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海理工大学授权不得商用。

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