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低紫外光学损耗的光学薄膜的制备方法技术
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文档序号:8797844
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本发明涉及光学薄膜。低紫外光学损耗的光学薄膜的制备方法,首先将基片在石油醚和温水的混合溶液中进行超声波清洗,再用石油醚经过仔细擦洗;然后将基片放入真空室内,采用电子束热蒸发方法进行镀膜,沉积温度为300℃-350℃,工作真空度为3.5×10...
该专利属于上海理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海理工大学授权不得商用。
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