下载具有应力释放层的绿光LED外延结构及制作方法的技术资料

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一种具有应力释放层的绿光LED外延结构及制作方法,其中该LED外延结构,包括:一衬底;一成核层,其制作在衬底上;一缓冲层,其制作在成核层上;一n型接触层,其制作在缓冲层上;一多量子阱有源区,其制作在n型接触层上面的一侧,另一侧形成一台面;一...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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