下载一种适用于dummy-trench功率器件的版图的技术资料

文档序号:8789680

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本实用新型涉及版图技术领域,公开了一种适用于dummy-trench功率器件的版图包括:dummy栅极结构刻蚀窗口、trench栅极结构刻蚀窗口、源极金属刻蚀窗口、dummy栅极金属刻蚀窗口、trench栅极金属刻蚀窗口、源极金属接线板刻蚀...
该专利属于中国科学院微电子研究所;江苏物联网研究发展中心;江苏中科君芯科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所;江苏物联网研究发展中心;江苏中科君芯科技有限公司授权不得商用。

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