下载反射率测定装置、反射率测定方法、膜厚测定装置及膜厚测定方法的技术资料

文档序号:8777663

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本发明的反射率测定装置(1)具备:测定光源(30),对测定对象物供给照射光(L1);分光检测部(80),对各波长检测照射光(L1)的强度及来自测定对象物的反射光(L2)的强度;系数记录部(92),记录将照射光(L1)的各波长的强度检测值转换...
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