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提供一种提高半导体装置的性能的半导体装置及其制造方法。作为半导体元件的MISFET（Q1）形成于SOI基板（1）上。SOI基板具有：作为基体的支撑基板（2）；形成于支撑基板的主面（表面）上的绝缘层即作为埋设氧化膜的BOX层（3）；以及形成于...
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