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本发明公开了一种多电极束流聚焦调节装置，包括：绝缘腔体(1)、上电极组(2)、下电极组(3)、左电极(4)、右电极(5)、程控数字电源(6)。其特征在于上电极组(2)和下电极组(3)两排电极一一相对，均匀安装在绝缘腔体(1)上，上电极组(2...该专利属于北京中科信电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科信电子装备有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种多电极束流聚焦调节装置，包括：绝缘腔体(1)、上电极组(2)、下电极组(3)、左电极(4)、右电极(5)、程控数字电源(6)。其特征在于上电极组(2)和下电极组(3)两排电极一一相对，均匀安装在绝缘腔体(1)上，上电极组(2...