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一种扫描抑制电极的装置。包括：沉孔(1)、引束出口(2)、石墨电极(3)、通孔(4)、销孔(5)、定位销(6)。该装置特征在于，扫描抑制电极主要是吸附打到抑制电极上的离子，提高了束流的纯度。说明书对装置进行了详细阐述。...
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