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本发明提供一种纳米级定位精度一维位移工作台，包括工作台部分、位置检测部分、信号处理与控制电路部分、驱动部分；工作台包括粗调、精调两级定位工作台，粗定位工作台置于垂直方向的滚动导轨中间，粗定位工作台的下方是粗位移调整机构；精调定位工作台的底座...
该专利属于武汉理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过武汉理工大学授权不得商用。

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