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根据本发明的一个实施例，基板处理装置包括：并排配置的第一腔室和第二腔室；第一顶杆和第二顶杆，分别设置于所述第一腔室和所述第二腔室的内部，并分别支撑传送在所述第一腔室和所述第二腔室内的第一基板和第二基板；以及搬运机器人，其向所述第一腔室和所述...
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