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本发明提供一种基板处理装置（100），不易产生匹配器和输送线路的发热和功率损耗，且不易产生由匹配器和输送线路的组装的差异引起的阻抗的变动所导致的电流差，其包括：产生高频电力的高频电源（6）；等离子体生成电极（2），被从高频电源（6）供给高频...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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