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本实用新型公开了一种纯氧气氛退火装置，包括：石英管、供氧单元、压力控制仪、加热单元、温控仪、温度采集仪和电源；所述石英管，包括一可放置待退火原料的空腔；所述供氧单元，向石英管的空腔中供氧；所述压力控制仪，安装在供氧管上，控制所述供氧源向所述...
该专利属于苏州四海常晶光电材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州四海常晶光电材料有限公司授权不得商用。

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