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一种用于半导体晶片的静电卡紧和解除卡紧的装置包括具有多个区域的静电卡盘。每一个区域包括围绕升降销的一或多个极区，所述升降销接触半导体晶片的底面。所述装置还包括控制所述升降销的一或多个控制器和控制所述极区的一或多个控制器。用于所述升降销的控制...
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