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本发明提供了一种用于形成接触件的系统和方法。一种实施例包括在基板上形成接触件，然后通过利用如成型腔物理成型接触件来压印该接触件。在施加作用力以物理地再成型该接触件之前，该接触件的物理成型可以利用该成型腔的图案化部分或将图案化的模板放置在基板...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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