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本发明公开了一种NOR闪存器件的退火工艺，该工艺包括在形成阱区的过程中，以变温的方式退火，具体为将温度从950℃降至750℃，且以较慢优选为2.5℃/Min的速度降低温度，并且退火气氛中不含氧气。本发明还公开了一种采用该工艺制作的NOR闪存...
该专利属于无锡华润上华科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡华润上华科技有限公司授权不得商用。

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