下载半导体器件拾取装置的技术资料

文档序号:8684047

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本发明提供了一种半导体器件的拾取装置,它包含:吸气管以及与吸气管相连的吸嘴。其中,吸嘴呈中空结构,并且吸嘴的壁含有多组吸气孔,通过吸气孔,吸气管和吸嘴相通,从而在抽气装置抽气时,吸气管和吸嘴中相对于外界气压形成负压,以实现对半导体器件的吸附...
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