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本发明提供一种离子注入监测方法，该方法包括以热波测量晶圆表面从而获得热波值；以及根据预先确定的热波值与晶圆退火后电阻的关系，确定晶圆的电阻从而监测晶圆的离子注入。根据本发明所述方法，可以节约监测时间。...
该专利属于无锡华润上华科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡华润上华科技有限公司授权不得商用。

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