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本发明涉及再生模板的方法和再生设备。本发明的一方面，这里提供了一种再生模板的方法。该模板包括转移表面和脱模层。该转移表面具有凹凸图案。该脱模层包含无机官能团和有机官能团，二者都键合到该转移表面上。该再生模板的方法包括下面两个步骤：通过对脱模...
该专利属于株式会社东芝所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社东芝授权不得商用。

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