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本发明提供一种EUVL复眼匀光离轴照明系统，包括等离子体光源、二次曲面反光碗、双排复眼以及中继镜组；其中所述双排复眼由视场复眼和光阑复眼组成，所述中继镜组由凸二次曲面反光镜和凹二次曲面反光镜组成；视场复眼由N个弧形复眼元密排组成，每一弧形复...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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