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本发明提供一种光刻版，属于半导体光刻技术领域。该光刻版包括管芯区域块以及所述管芯区域块之间的划片槽，其中，管芯区域块包括多个第一管芯区域块以及一个或多个第二管芯区域块，所述第二管芯区域块用来设置所述光刻版的对位标记。该光刻版对光刻设备的性能...
该专利属于无锡华润上华科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡华润上华科技有限公司授权不得商用。

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