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本发明提供一种光栅，该光栅包括一基底，该基底的一表面形成有多个凸棱，所述多个凸棱相互平行且间隔设置，相邻的两个凸棱之间形成一凹槽，所述每个凹槽的深宽比大于或等于6：1，凹槽的宽度范围为25纳米至150纳米。本发明提供的高密度、高深宽比的亚波...
该专利属于清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司授权不得商用。

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