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一种提高极紫外光谱纯度及热稳定性的新型多层膜，属于极紫外光刻领域，该新型多层膜为在基底上依次镀制Si层和Mo层交替的周期性多层膜，还包括热稳定层，所述热稳定层制作在Si层和Mo层交替的周期性多层膜上；本发明通过在Si层和Mo层交替的周期性多...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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