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本发明涉及一种兼容高低温测试的探针卡，包括基板、底座以及探针，所述底座固定于所述基板上，所述探针固定于所述底座上，所述探针的一端与基板上的电路相连通，另一端与晶圆相接触，所述基板上还设有冷却装置，所述冷却装置包括壳体，所述壳体上设有进气口和...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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