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本发明实施例公开了一种化学气相淀积设备，包括反应腔，还包括位于所述反应腔外部且与所述反应腔相连的等离子体产生腔，与所述等离子体产生腔相连的射频发生装置。在工作过程中，所述射频发生装置发射出的射线在所述等离子体产生腔内与反应气体相接触并产生反...
该专利属于无锡华润上华科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡华润上华科技有限公司授权不得商用。

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