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一种温度监控装置，包括腔体、圆片支撑装置，所述圆片支撑装置置于所述腔体内，所述圆片支撑装置包括圆片支撑环，此外，还包括温度监控器，所述温度监控器设置于所述圆片支撑环内侧，用于监控放置于所述圆片支撑环上的圆片的温度。通过在除气腔圆片支撑环内侧...
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