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一种清洁等离子体室组件表面的方法，其中：该组件具有铝或阳极化铝表面，该方法包括步骤：把该组件的该表面浸泡在稀释的硫酸过氧化物（DSP）溶液中；把该表面从该DSP溶液中移除之后，喷射冲洗该表面；把该表面浸泡在稀硝酸（HNO3）溶液中；把该表面...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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