下载片材粘附装置及粘附方法的技术资料

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一种片材粘附装置及粘附方法。将粘接片(MS)粘贴在被粘物(W)上的片材粘附装置(1)具备:对与被粘物(W)相对配置的粘接片(MS)进行支承的片材支承装置(6、7);将被粘物(W)和与该被粘物(W)相对配置的粘接片(MS)保持在减压环境中的减...
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