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拾取方法和拾取装置制造方法及图纸
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文档序号:8659852
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使第1吸附部靠近并接触被粘贴在粘合片上的芯片,并且,使第2吸附部靠近粘合片,并使第2吸附部以与第1吸附部相对的方式接触粘合片,该第2吸附部在用于与粘合片接触的接触面上形成有凹部,利用与粘合片接触着的第2吸附部来吸引粘合片,并且利用注入部向粘...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。
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