下载拾取方法和拾取装置的技术资料

文档序号:8659852

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

使第1吸附部靠近并接触被粘贴在粘合片上的芯片,并且,使第2吸附部靠近粘合片,并使第2吸附部以与第1吸附部相对的方式接触粘合片,该第2吸附部在用于与粘合片接触的接触面上形成有凹部,利用与粘合片接触着的第2吸附部来吸引粘合片,并且利用注入部向粘...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。