下载减少沉积不对称性的沉积设备和方法的技术资料

文档序号:8659830

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本发明的一个或多个实施例涉及沉积设备,所述沉积设备包括接地顶壁、处理腔室和等离子体源组件,所述等离子体源组件具有导电中空圆柱及实质连续接地遮护板,所述接地遮护板实质顺应所述中空圆柱的形状。...
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