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本文提供了用于自动验证半导体工艺步骤的方法及设备。在一些实例中，一种用于验证半导体工艺制作方法的方法包括以下步骤：选择规则集，所述规则集描述半导体工艺工具的操作窗口；相对于所述规则集的限制核对规则来核对参数值以产生第一结果，所述参数值由所述...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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