下载层叠装置的技术资料

文档序号:8658566

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为了提供一种使膜状树脂完全追随基材的凹凸且以更严格的标准使追随的膜状树脂的膜厚均匀的层叠装置,如图19所示,设为具有层叠机构(E1),该具有层叠机构(E1)具有:密闭空间形成部件,其能够收容临时层叠体(PL1)(31);以及加压层叠部件(P...
该专利属于日合墨东株式会社;信越化学工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日合墨东株式会社;信越化学工业株式会社授权不得商用。

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