本发明涉及包含粘结剂聚合物、具有氨基的能够光聚合的单体、光聚合引发剂、以及具有羧基的苯并三唑衍生物的感光性树脂组合物，以及包含由该感光性树脂组合物形成的感光性树脂组合物层和支撑层的光致抗蚀膜。该感光性树脂组合物以及光致抗蚀膜的分辨率和密...

为了提供一种使膜状树脂完全追随基材的凹凸且以更严格的标准使追随的膜状树脂的膜厚均匀的层叠装置，如图19所示，设为具有层叠机构（E1），该具有层叠机构（E1）具有：密闭空间形成部件，其能够收容临时层叠体（PL1）（31）；以及加压层叠部件...

本发明提供一种感光性树脂组合物，其对波长350nm~410nm的光线的灵敏度非常高，分辨率、密合性、曝光后的印出性优异，并且可得到稳定的生产量，而且在溶剂中的溶解性良好，抗蚀剂中不容易产生析出物。本发明的感光性树脂组合物的特征在于，其含...

本发明提供一种平面冲压装置和层压装置以及使用了这些装置的层压方法。该平面冲压装置和层压装置以及使用了这些装置的层压方法能够不受基材的凹凸的影响地使层压体平滑化，而且在实现降低输送用的带状膜的成本的同时，层压的树脂附着于带状膜而在剥离层压...

本发明提供层压装置及使用该层压装置的层压方法。该层压装置包括真空加压装置（２），该真空加压装置（２）设置有一对相面对的热盘（２３、２６），这两个热盘（２３、２６）中的至少一个可相对于另一个进退。并且，利用该真空加压装置（２），在表里两面...