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基于非对称相移光栅的窄线宽DFB半导体激光器制造技术
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下载基于非对称相移光栅的窄线宽DFB半导体激光器的技术资料
文档序号:8657022
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一种基于非对称相移光栅的窄线宽DFB半导体激光器,包括:一缓冲层;一下波导层,该下波导层制作在缓冲层上;一多量子阱有源层,该多量子阱有源层制作在下包层上;一光栅层,该光栅层制作在多量子阱有源层上;一上波导层,该上波导层制作在光栅层上;一包层...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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