下载垂直静电放电保护元件及其制作方法的技术资料

文档序号:8656713

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本发明提供一种垂直静电放电保护元件及其制作方法,该垂直静电放电保护元件包括:一基底,包括多个沟槽,其中各沟槽中包括一凹槽栅极;一漏极区,设置于两相邻的凹槽栅极间;一静电放电保护掺杂区,设置于各漏极区下;及一源极区,包围上述凹槽栅极和漏极区,...
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