下载LDMOS晶体管及其形成方法的技术资料

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一种LDMOS晶体管及其形成方法,所述LDMOS晶体管的形成方法包括:提供半导体衬底,并在所述半导体衬底内形成第一导电类型的阱区;在所述阱区内形成第一导电类型的重掺杂区,并在所述重掺杂区两侧的阱区内形成第二导电类型的漂移区;在所述漂移区内形...
该专利属于上海宏力半导体制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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