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下载位移测量系统的技术资料

文档序号:8654743

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本发明提供一种位移测量系统,主要包括:一激光器,用以输出双频激光、一数据采集及处理单元及一回馈单元,所述回馈单元包括一第一反射镜及第二反射镜相对间隔且平行设置,所述第一反射镜具有一第一表面以直接接收入射激光,所述第一表面的法线与所述入射激光...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。

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