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一种去除硅材料表面杂质的方法技术
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文档序号:8651768
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本发明公开了一种去除硅材料表面杂质的方法,属于新能源材料制备技术领域。本方法利用强流脉冲电子束辐照处理硅材料,通过瞬时高能量注入引发表面蒸发和表层喷发过程,发挥表面蒸发去除杂质和熔体喷发去除深层杂质的双重效果,获得具有一定厚度且符合太阳能电...
该专利属于大连理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过大连理工大学授权不得商用。
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