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尽量减少激光的聚焦点的偏离，并且可有效率地执行激光加工。具备位移取得步骤（Ｓ０７～Ｓ１１），以透镜集光用以测定加工对象物（Ｓ）的表面（Ｓ１）位移的测距用激光，并将其而向加工对象（Ｓ）物照射，一边检测随着该照射在主面被反射的反射光（４５），一...
该专利属于浜松光子学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。

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